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CF法兰式射频馈通
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A170815896066-1

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RF功率馈入件设计用于传输通常用于感应加热的RF功率。额定功率可达35kW,频率可达13.56MHz。
在这些穿通件的构造中使用了不受RF耦合影响的非磁性材料。
请注意,当并排安装两个35kW/13.56MHz射频功率馈入件时,它们的中心间距必须大于2.00英寸。为了避免功率耦合,必须允许馈通件和任何周围硬件之间有足够的间隙。
这些射频馈入件采用高氧化铝陶瓷、1/4"或3/8"外径铜管(用于水冷)和304L不锈钢部件。我们提供安装在焊接适配器、CF法兰和QF法兰上的产品。

规定的电气和热额定值是由包括材料性能、机械设计和预期工作环境在内的各种因素确定的安全工作极限。所有电气额定值均基于一侧在干燥气氛中,另一侧在小于1×10 -4 托尔所有VacuCAD文件以及我们订购表中显示或列出的任何尺寸均不包括制造公差,仅供参考。
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